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Miniature Actuators
5 mm ~ 300 mm
Travel Range
50 µm ~ 78 nm
Resolutions
Up to 1000 mm/s
High Speed
UHV Stepper Motor
75 ~ 1,000 mNm
Holding Torque
-65 °C ~ +190 °C
Operating temperature
1 x 10⁻¹⁰ mbar
Vacuum Environment
Ultra Compact Hexapod
±18 mm / ±10 °
Travel Range
±0.25 µm
Repeatability
5 kg
Load Capacity
Piezo XY Stage
300 μm
Travel Range
2 nm
Resolution
20 nm
Repeatability
Air Bearing Stage
53 kg
Load Capacity
<100 nm
Axial Runout
<200 nm
Radial Runout
Z TipTilt Stage
±5mm / ±0.2 °
Travel Range
±0.03 μm in Z
Repeatability
±15 nm
Position Stability
UHV Step Motor Stage
100 ~ 450 mm
Travel Range
5 µm
Mechanical Resolution
1 x 10⁻¹⁰ mbar
Vacuum Environment
UHV Linear Motor Stage
400 x 320 mm
Travel Range
±0.1 μm
Repeatability
±2 nm
Position Stability
라이모션은 독일, 영국, 벨기에 등 글로벌 파트너사의
정밀 모션제어 시스템, 스테이지 등 다양한 위치제어
솔루션을 국내 시장에 공급하고 있습니다.
또한 모션 시스템 제작 및 제어에 특화된 국내 업체와의 협업을 통해
고객 어플리케이션에 특화된 커스터마이징 시스템을 공급하고 있습니다.
점점 고정밀이 요구되는 시장 변화에 맞춰 특수한 요구사양을 만족하기 위해
Invar, Titanium 등의 특수 재질 및 Ceramic-Bearing 옵션 적용도 가능하며
이외에 고객의 다양한 요구에 적합한 위치 제어 솔루션 제공이 가능합니다.
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LIMOTION SYSTEMS
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