AIR BEARING SOLUTIONS

라이모션은 나노 정밀 급 에어베어링 기술에 제어 기술이 접목된 다양한 모터제품을 공급하고 있습니다. 또한 이를 바탕으로 고객이 요구하는 커스텀 고정밀 시스템 뿐만 아니라 물류, 레이저, 센서, 로봇 등 기타 시스템을 통합한 턴키 솔루션 제공도 가능합니다.

Linear Stages

Displacement : Up to 2000 mm

Repeatability : 100 nm

Load Capacity : Up to 200 kg

Max. Velocity : 1 m/s

Flatness : ± 0.5 μm

Straightness : ± 0.25 μm

Rotary Stages

Top Plate Diameter : Up to 500 mm

Load Capacity : Up to 830 kg

Angular Accuracy : < 0.5 arc sec

Axial & Radial Error : < 20 nm

Max. Velocity : 1000 rpm

Slip Ring Integration

Z Stages

Displacement : 100 mm

Repeatability : ± 75 nm

Accuracy : ± 500 nm

Load Capacity : up to 25 kg

Max. Velocity : up to 500 mm/s

Linear, DC, Stepper motor versions

XY Stages

Displacement : ± 50 mm

Resolution : 100 nm

Repeatability : ± 200 nm

Load Capacity : 80 kg

Max. Velocity : 30 mm/s

Compatible with Rotary Stage

Gantry Stages

Displacement : Up to 610 mm

Repeatability : 100 nm

Load Capacity : 150 kg in X

Max. Velocity : 300 mm/s

Accuracy : < 1 µm

Flatness : ± 1 μm

Planar Stages

Displacement : Up to 1000 mm

Repeatability : 100 nm

Load Capacity : 30 kg

Max. Velocity : 1000 mm/s

Accuracy : ± 0.3 µm

Flatness : ± 0.3 µm