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라이모션은 초고속 레이저를 이용한 미세가공에 필요한 정밀스테이지 및 시스템을 제공하고 있습니다. 특히 모션과 레이저 시스템과의 동기화를 통해 XYZ 축 특정 위치에서 정확한 트리거가 가능하기 때문에 서보 오류가 0에 가까운 시스템 제공이 가능합니다.
Gantry Systems
Displacement : Up to 1000 mm
Repeatability : 100 nm
Load Capacity : 30 kg
Max. Velocity : 1 m/s
Accuracy : ± 0.5 µm
Flatness : ± 0.8 μm