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라이모션은 반도체 산업에서 요구되는 나노미터 단위의 정밀 모션 장비를 공급하고 있습니다. 현재는 웨이퍼 검사, 레이저 미세 가공, IC 패키징 그리고 본딩 장비에서 필요한 제품을 생산하고 있으며 제품 사용 시 클린룸의 오염을 최소화하기 위해 ISO 5 등급의 생산 설비를 보유하고 있습니다. 커스터마이징이 필요한 다축 설계 시스템은 고객의 요구 사항을 충족하는 최상의 솔루션을 제공하고 있습니다.
Planar Stages
Displacement : Up to 1000 mm
Repeatability : 100 nm
Load Capacity : 30 kg
Max. Velocity : 1000 mm/s
Accuracy : ± 0.3 µm
Flatness : ± 0.3 µm