PIEZO ULTRASONIC DRIVE

피에조 모터는 피에조에 전기 인가 시 모양이 변하는 성질을 이용하여 기계적인 진동에너지로 모션을 발생시킵니다. 특히 Crossfixx™ Technology는 2가지 방식의 Resonant mode로 진동하며 인간의 가청 주파수 보다 높은 166 kHz로 떨리므로 조용하고 정밀한 모션 수행이 가능합니다.

Displacement : Up to 102 mm

Resolution : Down to 1 nm

Drive Force : Up to 3 N

Self-Locking at Rest

Max. Velocity : 200 mm/s

Vacuum Compatible

Precision Linear Stages

Stick-slip Driven

Ultrasonic Driven

Size : 40 x 31 x 15 mm

Load Capacity : 0.1 kg

Axial Error Motion : < 0.5 µm

Radial Error Motion : < 1 µm

Precision Rotary Stages

Displacement : 10 mm

Resolution : Down to 1 nm

Size : 80 x 80 x 40 mm

Load Capacity : 2.5 kg

Drive Force : 15 N

Weight : About 800 g

Precision Vertical Lifting Stages

Displacement : Up to 185 mm

Resolution : Down to 78 nm

Size : 38 x 30 x 9.1 mm

Drive Force : Up to 3 N

Weight : About 50 g

Velocity Stability : ±1 %

Precision Linear Actuators

Speed: > 100 mm/s
Stroke: 13 mm
Drive voltage: 20 - 40 Vpp
Life time: > 1.000.000 cycles
Vibration proof: Yes (10g)
Shock proof: Yes (100 g)

Precision Linear Shutter