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Miniature Actuators

5 mm ~ 300 mm

Travel Range

50 µm ~ 78 nm

Resolutions

Up to 1000 mm/s

High Speed

UHV Stepper Motor

75 ~ 1,000 mNm

Holding Torque

-65 °C ~ +190 °C

Operating temperature

1 x 10⁻¹⁰ mbar

Vacuum Environment

Ultra Compact Hexapod

±18 mm / ±10 °

Travel Range

±0.25 µm

Repeatability

5 kg

Load Capacity

Piezo XYZ Stage

100 μm in XYZ

Travel Range

0.5 nm

Resolution

5 nm

Repeatability

Air Bearing Stage

53 kg

Load Capacity

<100 nm

Axial Runout

<200 nm

Radial Runout

Z TipTilt Stage

±5mm / ±0.2 °

Travel Range

±0.03 μm in Z

Repeatability

±15 nm

Position Stability

UHV Step Motor Stage

100 ~ 450 mm

Travel Range

5 µm

Mechanical Resolution

1 x 10⁻¹⁰ mbar

Vacuum Environment

UHV Linear Motor Stage

400 x 320 mm

Travel Range

±0.1 μm

Repeatability

±2 nm

Position Stability

PRODUCTS

라이모션은 독일, 영국, 벨기에 등 글로벌 파트너사의 

정밀 모션제어 시스템, 스테이지 등 다양한 위치제어

솔루션을 국내 시장에 공급하고 있습니다. 

또한 모션 시스템 제작 및 제어에 특화된 국내 업체와의 협업을 통해
고객 어플리케이션에 특화된 커스터마이징 시스템을 공급하고 있습니다.

점점 고정밀이 요구되는 시장 변화에 맞춰 특수한 요구사양을 만족하기 위해 
Invar, Titanium 등의 특수 재질 및 Ceramic-Bearing 옵션 적용도 가능하며
이외에 고객의 다양한 요구에 적합한 위치 제어 솔루션 제공이 가능합니다.

ABOUT

LIMOTION SYSTEMS

ABOUT LIMOTION SYSTEMS

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