LINEAR MOTOR
Linear Motor & Torque Motor (리니어 & DD 모터)
Linear & Torque Motor Stage (리니어 모터 & DD 모터 스테이지)
Air-bearing Stage (에어베어링 스테이지)
Ironless Vacuum Linear Motor
Ironcore Vacuum Linear Motor
Precision X Stage
Precision X Stage
Precision X Stage
Stacked XY Stage
Precision XY Stage
Precision R Stage
Customized Solutions
리니어 모터 스테이지
Direct Driven Linear Stage
Travel Range : 50 ~ 1200 mm
Speed : 2 m/s
Repeatability : ±300 nm
Load Capacity : 42 ~ 80 kg, 420 ~ 800 N
Width : 115 ~ 190 mm (Ironless)
리니어 모터 스테이지
Direct Driven Linear Stage
Travel Range : 50 ~ 1200 mm
Speed : 2 m/s
Repeatability : ±300 nm
Load Capacity : 42 ~ 185 kg, 420 ~ 1850 N
Width : 115 ~ 280 mm (Ironless)
리니어 모터 스테이지
Direct Driven Linear Stage
Travel Range : 100 ~ 1200 mm
Speed : 2 m/s
Repeatability : ±300 nm
Load Capacity : 80 ~ 185 kg, 420 ~ 1850 N
Width : 190 ~ 280 mm (Iron Core)
리니어 모터 XY 스테이지
Direct Driven XY Stage
Travel Range : 100 ~ 1200 mm
High Resolution Absolute Encoder
Load Capacity : 40kg, 400 N
Speed : 2 m/s
Side Cover Protect Against Particles
리니어 모터 XY 스테이지
Direct Driven XY Stage
Travel Range : 230 x 230 mm
Repeatability : ±30 nm
Accuracy : ±120 nm
Load Capacity : 20 kg
Max. Velocity : 400 mm/s
리니어 모터 로테이션 스테이지
Direct Driven Rotation Stage
Repeatability : ±1.5 arcsec
Accuracy : ±2.5 arcsec
Axial & Radial Runout : ±0.5 µm
Rated Speed : 3600 RPM
Load Capacity : 52 kg
커스텀 : 다축 모션 & 진동제어
Custom : Multi-Axis & AVIS
Turnkey Concepts
High Precision Measurement Technology
Electrostatic & Vacuum Chuck
Dust-free Cable System
Active Vibration Isolation System (Piezo)