PIEZO POSITIONING SYSTEMS

피에조시스템은 피에조와 정밀 센서가 결합되어 나노미터 급 분해능과 빠른 응답성을 가집니다. 이를 바탕으로 나노미터 급 정밀도가 요구되는 정밀 측정 시스템, 초고해상도 현미경, 반도체검사 장비 등에 적용가능합니다.